Sealed Waferholder

NBT hat einen dichtenden Waferhalter speziell für Galvanisierungs- und Nassätzanwendungen in der Mikrosystemtechnik und der Halbleiterindustrie entwickelt.

Anwendungen:
- Nasschemische Prozesse, z. B. Ätzen
- Galvanisieren
- Anodisieren
- Porosifizierung von Silizium

Hauptvorteile:
- Einseitige Prozessierung
- Rückseite trocken
- Front- oder Rückseitenkontakt
- Temperaturbeständig bis 70 °C
- Einfache Handhabung

Verschiedene Ausführungen für unterschiedliche Wafergeometrien:
- 100 mm, 150 mm, 200 mm SEMI-Standard
- mit Notch oder Flat
- 125 mm PV-Square
- 156 mm PV-Square
- oder Sonderanfertigung

Materialien:
- PEEK
- EPDM-Dichtungen
- Titan-Kontakte