Paddle Cell

Die Konfiguration des Paddelzellen-Laborgeräts ist ein Tischsystem, das in Standardabzugsschränke passt.

Das Hauptmerkmal des Systems ist die Paddle Einheit, die sich in kurzem Abstand parallel zur Substratoberfläche bewegt, um sehr gleichmäßige Strömungsbedingungen zu schaffen.

Das Paddle Cell Plating Tool arbeitet in einer rackartigen Konfiguration mit vertikal ausgerichteten Substraten. Die Wafer werden einseitig mit einem speziellen Waferhalter bearbeitet.

Grundumfang

  • Paddle Cell, Tankvolumen 15-25l, Anode, Wafer Halter

Zubehör

  • Temperaturregelung
  • pH-Kontrolle

Anwendungen

  • Galvanische Beschichtung von NiFe, Cu, Sn oder Ag auf Halbleitersubstraten

Vorteile

  • sehr gleichmäßige Strömungsverhältnisse
  • modularer Aufbau

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