Semiautomatisches Multilagen Tool

Zur Abscheidung von exotherm reagierenden nanoskaligen Multilagensystemen (RMS) hat NB Technologies im Rahmen des BMBF geförderten Forschungsprojektes ELISA (FKZ 13XP5047B) diese halbautomatische Galvanikanlage konstruiert und aufgebaut.

Grundumfang:
- zwei bis vier Prozessbecken
- ein Quickdump Spülbecken
- halbautomatisches Handling mit Bernoulli Greifer
- Filterpumpen für die Prozessbecken

Zubehör:
- pH Regelung
- Temperaturregelung
- Füllstandskontrolle

Anwendungen
- nanoskaligen Multilagensystemen (RMS)
- under bump Metallisierung
- lokales Chipbonden auf Waferlevel
- temperatursensibles Packaging (AVT)

Vorteile
- einseitige Prozessierung
- halterloses Handling
- präzise Prozessführung