Small Volume Plating Cell

Zur Optimierung von Elektrolyten hat NBT eine Testzelle konstruiert, in der mit einem Volumen von weniger als drei Litern gearbeitet werden kann. So lässt sich bei der Entwicklung von Elektrolyten die Zusammensetzung variieren, ohne größere Mengen verwerfen zu müssen.

NBT bietet diese Testzelle mit einem Waferhalter an, der entweder eine Frontseitenkontaktierung oder eine Rückseitenkontaktierung ermöglicht.

Grundumfang:
Small Volume Test Cell (3l), Anode, Waferhalter

Zubehör:
High Power LED Feld mit Lichtsteuerung, Stromquelle, Rührwerk, Temperierbad

Small Volume Test Cell Anwendungen
- Elektrolytentwicklung für elektrochemische Metallisierung
  (Galvanik auf Startschicht/Siliziumdirektmetallisierung)
- Siliziumdirektmetallisierung, z.B. in Kombination mit porösem Silizium
     + Silizidbildung ohne Emitterkurzschluss
- Galvanik auf hochohmigen Emittern
- nasschemische / elektrochemische Prozesse
  (Texturieren, Reinigen, Anodisieren, Ätzen)

Vorteile
- einseitige Prozessierung mit trockener Rückseite
- kein Rückseitenschutz nötig -> hohe Flexibilität für chemische Prozesse
- Prozesse mit bis zu 25%-iger Flusssäure, z.B. für poröses Silizium
- verschiedene Halter für andere Wafergrößen und Kontaktkonfigurationen
- Lichtunterstützung