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Small Volume Test Cell
Small Volume Test Cell
Wafer Halter
Lichtsteuerung
Laboraufbau mit und ohne Temperierbad

Zur Optimierung von Elektrolyten hat NBT eine Testzelle konstruiert, in der mit einem Volumen von weniger als drei Litern gearbeitet werden kann. So lässt sich bei der Entwicklung von Elektrolyten die Zusammensetzung variieren, ohne größere Mengen verwerfen zu müssen.

NBT bietet diese Testzelle mit einem Waferhalter an, der entweder eine Frontseitenkontaktierung am äußeren Rand oder eine Rückseitenkontaktierung ermöglicht. Die Rückseite bleibt in jedem Falle trocken.

Grundumfang: Small Volume Test Cell (3l), Anode, Waferhalter

Zubehör: High Power LED Feld mit Lichtsteuerung, Stromquelle, Rührwerk, Temperierbad

Small Volume Test Cell Anwendungen
- Elektrolytentwicklung für elektrochemische Metallisierung
  (Vorderseite/Rückseite; Galvanik auf Startschicht/Siliziumdirektmetallisierung)
- Siliziumdirektmetallisierung, z.B. in Kombination mit porösem Silizium
     +
Silizidbildung ohne Emitterkurzschluss
     + einfacher Wechsel trocken
/nass/trocken (Silizidbildung nach letzter Galvanik)
- Galvanik auf hochohmigen Emittern
- nasschemische / elektrochemische Prozesse wie Texturieren, Reinigen, Anodisieren, Ätzen

Vorteile
- einseitige Prozessierung mit trockener Rückseite
- kein Rückseitenschutz nötig -> hohe Flexibilität für chemische Prozesse
- Prozesse mit bis zu 25%-iger Flusssäure, z.B. für poröses Silizium im Bereich von 5% bis 25% HF
- verschiedene Halter für andere Wafergrößen und Kontaktkonfigurationen
- Lichtunterstützung

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