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NBT Schutzrechte Mikrosystemtechnik
Nummer Titel / Beschreibung
DE 202008015294 U1

DE 102009053434 A1

Substrat mit einem Loch mit einer Metallsilizidschicht

metallische Durchkontaktierung von Wafersubstraten

verkäuflich, lizenzierbar

DE 102008011175 B4

US 020110006874 A1

WO 002009106046 A1

Mikromechanischer Aktuator und Verfahren zu seiner Herstellung

lateraler thermischer Aktuator, z.B. für bistabile Mikroschalter

verkäuflich, lizenzierbar

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