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NBT's protection rights in the field of microsystems
Number Titel / Description
DE 202008015294 U1

DE 102009053434 A1

Substrat mit einem Loch mit einer Metallsilizidschicht

metallic through via for wafer substrates

for sale, license to grant

DE 102008011175 B4

US 020110006874 A1

WO 002009106046 A1

Mikromechanischer Aktuator und Verfahren zu seiner Herstellung

lateral thermal actuator, e.g. for bistable micro switch

for sale, license to grant

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